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矿业综合
国家标准 | 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料!
来源:粉体技术网2017-10-13552

石英坩埚是由高纯石英砂制成,二氧化硅含量超过99.9%,具有高温不变形、耐化学侵蚀性好等特点。

方形的高纯石英坩埚用在多晶硅铸锭环节,充当多晶硅化料和长晶的容器;圆形石英坩埚则用在单晶硅中拉制单晶。

高纯石英砂是生产石英坩埚的必要原料。单晶硅拉晶的成功率及晶棒品质取决于多种因素,石英坩埚内壁的气泡含量就是其中重要因素之一。如果石英砂杂质含量较多,在高温熔制过程中容易产生黑点气泡。在拉制单晶硅过程中石英坩埚会长时间处于高温环境下,高温会使石英坩埚内壁所合气泡受热释放,从而影响到拉晶的稳定性和成功率。

国际市场的竞争中,标准会对企业带来巨大的影响。《GB/T 32652——2016多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》国家标准的研究与制订,对于多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料生产有着巨大的促进作用,也能够为生产厂家在国际市场上的竞争奠定良好的基础。

《GB/T 32652——2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》

1、范围

该标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。

2、产品分类

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料按产品粒度分为:熔融石英块料和熔融石英砂料。

3、技术要求

(1)外观

熔融石英块料外观应为无色透明或半透明,无异色点。

(2)灼烧失量

熔融石英料灼烧失量应小于0.05%。

(3)粒度

熔融石英块料应大于或等于830μm,粒径小于830μm的为熔融石英砂料。

(4)二氧化硅含量

二氧化硅含量应不低于99. 95%。

(5)杂质元素含量

杂质元素总含量应小于80μg/g,各杂质元素的含量应用符合下表1的规定。

表1 杂质元素含量


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